集成化音圈模組設(shè)計,包含音圈電機動定子、導(dǎo)軌、光柵尺反饋系統(tǒng)及載臺,即裝即用
性能特點:
系模塊化設(shè)計, 應(yīng)用了圓柱形音圈電機
單重線導(dǎo)軌或滑軌系統(tǒng)
行程可從15mm到30mm
直接驅(qū)動,無背隙和無嵌齒效應(yīng)
模塊的設(shè)計配備編碼器
編碼器的高分辨率有1.0um或0.1um
反應(yīng)快,帶寬高